標題：德國VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產品系列
主要產品
真空傳感器
主要型號
MEMBRAN-01TORR45-C-3A-CF16R - 膜片式真空傳感器
MEMBRAN-1000TORR45-C-3A-CF16R
MEMBRAN-100TORR45-C-3A-CF16R
MEMBRAN-1TORR45-C-3A-CF16R
MEMBRAN-10TORR45-C-3A-CF16R
德國VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產品系列產品介紹：
德國VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產品系列
產品介紹（以MEMBRAN-01TORR45-C-3A-CF16R為例）
該產品是一款溫度調節(jié)的膜片式真空傳感器，采用電容式測量原理，適用于高精度真空測量。
技術參數：
測量范圍：1.3×10?? - 1.3×10?1 mbar
連接方式：CF法蘭
通徑：16mm
加熱溫度：110°C
接口：RS232和模擬信號
精度：0.15%
外形尺寸：33.8mm×145.7mm
工作原理：
通過電容式膜片測量真空壓力變化，溫度調節(jié)確保測量穩(wěn)定性，數字和模擬接口提供多種數據輸出方式。
德國VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產品系列優(yōu)勢特點
? 測量精度高，穩(wěn)定性好
? 溫度調節(jié)功能確保測量一致性
? 多種接口可選，兼容性強
? 結構緊湊，安裝方便
? 符合PCS清潔度標準
德國VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產品系列主要應用：
德國VACOM膜片式真空傳感器MEMBRAN產品系列產品。
半導體制造設備
科研實驗裝置
真空鍍膜系統(tǒng)
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