赫爾納供應德國enkoba夾具 型號LAM

赫爾納供應德國enkoba夾具 型號LAM

赫爾納供應德國enkoba夾具 型號LAM

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enkoba夾具主要產品：

1.  夾具

2.  夾持系統

3.  負載搬運設備

4.  邊緣夾具

5.  晶圓處理

enkoba夾具產品型號：

l   LAM

enkoba夾具產品特點：

enkoba夾具LAM 可以通過 2 種方式連接到手拉葫蘆：

“德馬格銷"用于頻繁從環鏈葫蘆上拆下負載搬運裝置。

德馬格手拉葫蘆也有相應的適配?！暗埋R格銷"的缺點是不能 - 不應該 - 相對于環鏈葫蘆轉動 LAM，否則懸掛點 =“德馬格 - 銷"和接收叉上的磨損是很大。

“德馬格 – 攻絲"也無法進行能量傳輸。

enkoba夾具1.1.2 旋轉接頭

enkoba夾具為了能夠相對于手拉葫蘆旋轉旋轉夾具，ENKOBA 開發了一種旋轉饋通裝置，可以使旋轉夾具相對于手拉葫蘆無限旋轉！

enkoba夾具產品應用：

邊緣enkoba夾具晶圓可以按順序從載體中取出或插入載體

將損壞底層晶圓或被顆粒污染的風險降至夾具低

晶圓不會像傳統的邊緣夾具那樣變形。這樣可以避免損壞

借助電動夾爪，路徑、力和速度可自由編程

我們的邊緣夾具的機構也可以由真空驅動

使用這兩種驅動變體，只能移動一個鉗口

晶圓從上方和下方平行夾持，僅在邊緣區域（夾具大 5 毫米）。

邊緣抓手可以與我們開發的腳蹼結合使用。這允許無限的旋轉運動。

旋轉夾具用于抓取原始和機加工的轉向外殼。

轉向器通過氣動夾緊桿固定在中心孔中。然后舵機可以轉動90度。被旋轉。松開時，向夾緊氣缸的壓縮空氣供應中斷，夾緊桿向后旋轉，從而松開工件。

enkoba夾具接觸面用塑料覆蓋，夾緊桿用黃銅夾夾住舵機，這兩種措施都起到保護加工后的舵機的作用。

為了組裝旋轉饋通，必須拆下支撐板（用 2 個沉頭螺釘固定）。

然后將輪轂從基體中轉出。

將輪轂固定在 LAM 上，將基體推到輪轂上，同時旋轉（使密封圈干凈地插入基體）并重新組裝支撐盤。

在組裝過程中，可以/應該在軸承點上涂抹一些潤滑脂。

旋轉饋通的負載能力與旋轉夾具的負載能力相適應 = 50 kg。